Descrição:
Os manômetros capacitivos MKS Baratron são transdutores de vácuo/pressão absoluta de alta precisão premium, o padrão da indústria para equipamentos de processo a vácuo de semicondutores. Baseado na tecnologia patenteada de detecção por diafragma capacitivo, fornece leitura de pressão independente do tipo de gás, completamente não afetada pela composição do gás de processo. Amplamente compatível com AMAT, LAM Research e plataformas principais de fabricação de wafers, fornece controle de pressão em malha fechada ultrastável para sistemas de gravação (etching), CVD, PVD, ALD e fornecimento de gases, garantindo precisão consistente do vácuo na câmara e melhorando o rendimento de produção na fabricação de semicondutores.
Principais especificações:
- Precisão de alto nível de até ±0,25% da leitura, resolução ultrafina de 0,01% da escala completa, excelente estabilidade de longo prazo e deriva mínima para atender aos rigorosos requisitos de processo de semicondutoresMKS.
- Diafragma e partes molhadas utilizam liga de níquel Inconel® / Incoloy® ou aço inoxidável 316L com estrutura totalmente soldada, resistentes a gases de processo especiais corrosivos. 100% testados quanto a vazamentos antes da entrega para operação segura em ambientes de plasma severos.
- Abrange desde vácuo ultrafino até alta pressão: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Modelos aquecidos (45℃ / 100℃ opcionais) evitam eficazmente a condensação de meios de processo voláteis para evitar desvios de medição.
Aplicações:
- Equipamentos de fabricação de semicondutores: sistemas de gravação AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Controle de vácuo de precisão para deposição de filmes finos, gravação por plasma e implantação iônica
- Gabinete de gases MFC, sistema de bombeamento a vácuo, detecção de vazamentos e intertravamento de segurança de pressão
- Energia solar fotovoltaica, revestimento de LED, processamento a vácuo farmacêutico e testes de vácuo de alta precisão em laboratório
Perguntas frequentes:
P1:Qual é a condição do produto e como é a garantia?
R:Itens novos e originais. Garantia de 1 ano incluída.
P2:Quais são os seus termos de pagamento?
R:T/T, Paypal suportados.
P3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
R:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos raros exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
P4:Envio e rastreamento
R:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo por nossa equipe.
P5:Embalagem e segurança
R:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixas de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.