Descrição:
MKS Baratron capacitance manometers são transdutores de vácuo/pressão absoluta de alta precisão premium, o padrão da indústria para equipamentos de processo de vácuo de semicondutores. Baseados na tecnologia patenteada de sensor de diafragma capacitivo, fornecem leitura de pressão independente do tipo de gás, completamente não afetada pela composição do gás de processo. Amplamente compatíveis com AMAT, LAM Research e plataformas de fabricação de wafers de referência, fornecem controle de pressão em malha fechada ultraestável para sistemas de etching, CVD, PVD, ALD e entrega de gases, garantindo precisão consistente de vácuo da câmara e melhorando o rendimento de produção na fabricação de semicondutores.
Especificações principais:
- Precisão de alto nível de até ±0,25% da leitura, resolução ultrafina de 0,01% da escala total, excelente estabilidade de longo prazo e desvio mínimo para atender aos rigorosos requisitos de processo de semicondutoresMKS.
- O diafragma e as partes em contato com o fluido utilizam liga de níquel Inconel® / Incoloy® ou aço inoxidável 316L com estrutura totalmente soldada, resistente a gases de processo especiais corrosivos. 100% testados quanto a vazamentos antes da entrega para operação segura em ambientes de plasma severos.
- Cobre vácuo ultrafino até alta pressão: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Modelos aquecidos (45℃ / 100℃ opcionais) evitam eficazmente a condensação de meios de processo voláteis para evitar desvios de medição.
Aplicações:
- Equipamentos de fabricação de semicondutores: AMAT Centura/Endura, sistemas de etching LAM Kiyo/2300
- Controle preciso de vácuo para deposição de filmes finos, etching por plasma e implantação iônica
- Gabinete de gás MFC, sistema de bombeamento de vácuo, detecção de vazamentos e intertravamento de segurança de pressão
- PV solar, revestimento de LED, processamento de vácuo farmacêutico e testes de vácuo de alta precisão em laboratório
FAQ:
Q1: Qual é a situação do produto e como é a garantia?
A:Itens novos e originais. Garantia de 1 ano incluída.
Q2: Quais são os termos de pagamento?
A: T/T, Paypal suportados.
Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
A:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
Q4: Envio e rastreamento
A: DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo por nossa equipe.
Q5: Embalagem e segurança
A: Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, engradados de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.