Descrição:
MKS Baratron manômetros capacitivos são transdutores de vácuo/pressão absoluta de alta precisão premium, o padrão da indústria para equipamentos de processos de vácuo na indústria de semicondutores. Baseado na tecnologia patenteada de sensor de diafragma capacitivo, fornece leitura de pressão independente do tipo de gás, completamente não afetada pela composição do gás de processo. Amplamente compatível com AMAT, LAM Research e plataformas de fabricação de wafers convencionais, oferece controle de pressão em malha fechada ultraestável para sistemas de gravação (etching), CVD, PVD, ALD e entrega de gases, garantindo precisão consistente do vácuo da câmara e melhorando o rendimento de produção na fabricação de semicondutores.
Especificações principais:
- Precisão de alto nível de até ±0,25% da leitura, resolução ultrafina de 0,01% da escala completa (Full Scale), excelente estabilidade de longo prazo e deriva mínima para atender aos rigorosos requisitos de processos de semicondutoresMKS.
- Diafragma e partes molhadas utilizam liga de níquel Inconel® / Incoloy® ou aço inoxidável 316L com estrutura totalmente soldada, resistentes a gases de processo especiais corrosivos. 100% testados quanto a vazamentos antes da entrega para operação segura em ambientes de plasma severos.
- Abrange de vácuo ultrafino até alta pressão: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Modelos aquecidos (45℃ / 100℃ opcionais) evitam eficazmente a condensação de meios de processo voláteis para evitar desvios de medição.
Aplicações:
- Equipamentos de fábrica de semicondutores: sistemas de etching AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Controle preciso de vácuo para deposição de filmes finos, gravação por plasma e implantação iônica
- Gabinete de gases MFC, sistema de bombeamento a vácuo, detecção de vazamentos e intertravamento de segurança de pressão
- FV solar, revestimento de LED, processamento farmacêutico a vácuo e testes de vácuo de alta precisão em laboratório
FAQ:
Q1:Qual é a condição do produto e como é a garantia?
A:Itens novos e originais. Garantia de 1 ano incluída.
Q2:Quais são as suas condições de pagamento?
A:T/T, PayPal aceitos.
Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
A:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos raros exigem encomenda ao fabricante — entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
Q4:Envio e rastreamento
A:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.
Q5:Embalagem e segurança
A:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixas de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.