Descrição:
Os manômetros capacitivos MKS Baratron são transdutores de vácuo/pressão absolutos de alta precisão premium, o padrão da indústria para equipamentos de processo de vácuo para semicondutores. Baseado em tecnologia patenteada de sensoriamento por diafragma capacitivo, fornece leitura de pressão independente do tipo de gás, completamente não afetada pela composição do gás de processo. Amplamente compatível com AMAT, LAM Research e plataformas principais de fabricação de wafers, fornece controle de pressão em malha fechada ultraestável para sistemas de gravação (etching), CVD, PVD, ALD e fornecimento de gás, garantindo precisão consistente do vácuo da câmara e melhorando o rendimento da produção na fabricação de semicondutores.
Especificações principais:
- Precisão de alto nível até ±0.25% da leitura, resolução ultrafina de 0.01% Full Scale, excelente estabilidade de longo prazo e desvio mínimo para atender aos rigorosos requisitos de processo de semicondutores MKS.
- O diafragma e as partes molhadas utilizam Inconel® / Incoloy® liga de níquel ou aço inoxidável 316L com estrutura totalmente soldada, resistente a gases de processo especiais corrosivos. 100% testado contra vazamentos antes da entrega para operação segura em ambientes de plasma severos.
- Abrange de vácuo ultrafino até alta pressão: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Modelos aquecidos (45℃ / 100℃ opcionais) previnem efetivamente a condensação de meios de processo voláteis para evitar desvios de medição.
Aplicações:
- Equipamentos de fabricação de semicondutores: AMAT Centura/Endura, sistemas de etch LAM Kiyo/2300
- Controle de vácuo de precisão para deposição de filmes finos, gravação por plasma e implantação iônica
- Gabinete de gás MFC, sistema de bombeamento a vácuo, detecção de vazamentos e intertravamento de segurança de pressão
- Solar PV, revestimento de LED, processamento a vácuo farmacêutico e testes de vácuo de alta precisão em laboratório
Perguntas frequentes:
Q1: Qual é a condição do produto e como é a garantia?
A: Itens novos e originais. Garantia de 1 ano incluída.
Q2: Quais são os termos de pagamento?
A: T/T, Paypal suportados.
Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
A: Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 business days após o pagamento. Modelos escassos exigem pedido ao fabricante — entre em contato com o atendimento ao cliente para cronogramas.
Q4: Envio e rastreamento
A: DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.
Q5: Embalagem e segurança
A: Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, engradados de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impacto.