Descrição:
MKS Baratron capacitance manometers são transdutores de vácuo/pressão absoluta de alta precisão premium, o padrão da indústria para equipamentos de processo de vácuo de semicondutores. Baseados na tecnologia patenteada de detecção por diafragma capacitivo, eles fornecem leitura de pressão independente do tipo de gás, completamente não afetada pela composição do gás do processo. Amplamente compatíveis com AMAT, LAM Research e plataformas principais de fabricação de wafers, eles fornecem controle de pressão em malha fechada ultrastável para processos de corrosão (etching), CVD, PVD, ALD e sistemas de fornecimento de gás, garantindo precisão consistente do vácuo da câmara e melhorando o rendimento de produção na fabricação de semicondutores.
Especificações principais:
- Precisão de alto nível de até ±0,25% da leitura, resolução ultrafina de 0,01% da escala total, excelente estabilidade de longo prazo e deriva mínima para atender aos rigorosos requisitos de processo de semicondutoresMKS.
- Diafragma e partes molhadas utilizam liga de níquel Inconel® / Incoloy® ou aço inoxidável 316L com estrutura totalmente soldada, resistente a gases de processo especiais corrosivos. 100% testado contra vazamentos antes da entrega para operação segura em ambientes de plasma severos.
- Cobre vácuo ultrafino até alta pressão: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Modelos aquecidos (45℃ / 100℃ opcionais) evitam eficazmente a condensação de meios de processo voláteis para evitar desvios de medição.
Aplicações:
- Equipamentos de fábrica de semicondutores: AMAT Centura/Endura, sistemas de etching LAM Kiyo/2300
- Controle preciso de vácuo para deposição de filmes finos, corrosão por plasma e implantação iônica
- Gabinete de gás MFC, sistema de bombeamento de vácuo, detecção de vazamentos e intertravamento de segurança de pressão
- Solar fotovoltaico, revestimento de LED, processamento de vácuo farmacêutico e testes de vácuo de alta precisão em laboratório
FAQ:
Q1:Qual é a situação do produto e como é a garantia?
A:Itens novos e originais. Garantia de 1 ano incluída.
Q2:Quais são as suas condições de pagamento?
A:T/T, Paypal suportado.
Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
A:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
Q4:Envio e rastreamento
A:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecido após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.
Q5:Embalagem e segurança
A:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixotes de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.