Descrição:
Os manômetros capacitivos MKS Baratron são transdutores de vácuo/pressão absoluta premium de alta precisão, o padrão da indústria para equipamentos de processo de vácuo na fabricação de semicondutores. Baseado na tecnologia patenteada de sensoriamento por diafragma capacitivo, fornece leitura de pressão independente do tipo de gás, completamente não afetada pela composição do gás do processo. Amplamente compatível com plataformas de fabricação de wafers da AMAT, LAM Research e principais sistemas do setor, oferece controle de pressão em malha fechada ultraestável para processos de gravação, CVD, PVD, ALD e sistemas de fornecimento de gás, garantindo precisão consistente de vácuo na câmara e melhorando o rendimento de produção na fabricação de semicondutores.
Especificações principais:
- Precisão de alto nível de até ±0,25% da leitura, resolução ultrafina de 0,01% da Escala Total, excelente estabilidade de longo prazo e desvio mínimo para atender aos rigorosos requisitos de processo de semicondutoresMKS.
- O diafragma e as partes em contato com o fluido utilizam liga de níquel Inconel® / Incoloy® ou aço inoxidável 316L com estrutura totalmente soldada, resistente a gases de processo especiais corrosivos. 100% testado contra vazamentos antes da entrega para operação segura em ambientes de plasma severos.
- Abrange desde vácuo ultra-fino até alta pressão: 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Modelos aquecidos (45℃ / 100℃ opcionais) previnem eficazmente a condensação de meios de processo voláteis para evitar desvios de medição.
Aplicações:
- Equipamentos de fábrica de semicondutores: sistemas de gravação AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Controle de vácuo de precisão para deposição de filmes finos, gravação por plasma e implantação iônica
- Gabinete de gás MFC, sistema de bombeamento de vácuo, detecção de vazamentos e intertravamento de segurança de pressão
- Energia solar fotovoltaica, revestimento LED, processamento farmacêutico a vácuo e testes de vácuo de alta precisão em laboratório
FAQ:
Q1:Qual é a situação do produto e como é a garantia?
R:Itens originais novos. Garantia de 1 ano incluída.
Q2:Quais são as suas condições de pagamento?
R:T/T, Paypal suportado.
Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
R:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos raros exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
Q4:Envio e rastreamento
R:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.
Q5:Embalagem e segurança
R:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixas de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.