Descrição:
Os manômetros de capacitância MKS Baratron são transdutores de vácuo/pressão absoluta de alta precisão premium, o padrão da indústria para equipamentos de processo de vácuo na fabricação de semicondutores. Baseados na tecnologia patenteada de sensor de diafragma capacitivo, fornecem leitura de pressão independente do tipo de gás, completamente sem influência da composição do gás do processo. Amplamente compatíveis com AMAT, LAM Research e plataformas principais de fabricação de wafers, oferecem controle de pressão em malha fechada ultraestável para sistemas de gravação (etching), CVD, PVD, ALD e fornecimento de gases, garantindo precisão consistente do vácuo da câmara e melhorando o rendimento de produção na fabricação de semicondutores.
Especificações principais:
- Precisão de alto nível de até ±0.25% da leitura, resolução ultrafina de 0.01% Full Scale, excelente estabilidade de longo prazo e deriva mínima para atender aos rigorosos requisitos de processo de semicondutoresMKS.
- Diafragma e partes molhadas utilizam liga de níquel Inconel® / Incoloy® ou aço inoxidável 316L com estrutura totalmente soldada, resistentes a gases de processo especiais corrosivos. 100% testados quanto a vazamentos antes da entrega para operação segura em ambientes de plasma severos.
- Cobre desde vácuo ultrafino até alta pressão: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Modelos aquecidos (45℃ / 100℃ opcionais) evitam eficazmente a condensação de meios de processo voláteis para evitar desvios de medição.
Aplicações:
- Equipamentos de fabricação de semicondutores: AMAT Centura/Endura, sistemas de gravação LAM Kiyo/2300
- Controle preciso de vácuo para deposição de filmes finos, gravação por plasma e implantação iônica
- Armário de gás MFC, sistema de bombeamento de vácuo, detecção de vazamentos e intertravamento de segurança de pressão
- Solar fotovoltaico, revestimento de LED, processamento de vácuo farmacêutico e testes de vácuo de alta precisão em laboratório
Perguntas frequentes:
Q1:Qual é a situação do produto e como é a garantia?
R:Itens novos e originais. Garantia de 1 ano incluída.
Q2:Quais são os seus termos de pagamento?
R:T/T, Paypal suportados.
Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
R:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos raros exigem encomenda ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
Q4:Envio e rastreamento
R:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.
Q5:Embalagem e segurança
R:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixas de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.