Descrição:
Os espectrômetros de fibra óptica LAM Research são dispositivos de monitoramento óptico de alta precisão integrados a equipamentos de processamento de wafers semicondutores. Principalmente acoplados a módulos ópticos profissionais, eles adotam um design de transmissão por fibra óptica para capturar emissão de plasma, espectros de reflexão e transmissão dentro das câmaras de processo. Amplamente utilizados para detecção de ponto final de corrosão (etch), metrologia de filmes finos e monitoramento em tempo real das condições de plasma, essas unidades garantem desempenho estável do processo, melhoram o rendimento de produção e reduzem produtos defeituosos em processos de etching, CVD, PVD e outros procedimentos de fabricação a vácuo. Como componentes originais compatíveis com OEM, eles apresentam excelente compatibilidade e confiabilidade de longo prazo para ferramentas de processo da série completa LAM.
Especificações principais:
- Equipados com detectores CCD/PMT de alta sensibilidade, oferecendo excelente resolução espectral e baixo ruído. Cobre a faixa de comprimento de onda UV-visível para atender às diversas demandas de monitoramento de processos semicondutores.
- Interfaces de fibra padrão SMA suportam transmissão de sinal a longa distância. Sondas compatíveis com vácuo operam de forma estável em ambientes de alto vácuo, alta temperatura e plasma.
- A análise espectral em tempo real permite julgamento preciso do ponto final de etching, medição da espessura de filmes finos e das propriedades ópticas, evitando efetivamente over-etching e under-etching.
- Portas de comunicação Ethernet e RS-232 integradas, totalmente compatíveis com protocolos de equipamentos LAM para interação de dados e integração de sistemas sem falhas.
- Estrutura compacta e robusta com capacidade anti-vibração e anti-interferência. Suporta operação contínua 24/7 e fácil substituição em campo.
Aplicações típicas:
- Sistemas de etching por plasma, equipamentos de deposição de filmes finos CVD, PVD e ALD
- Detecção de ponto final para processos de etching de wafers
- Medição in-situ da espessura de filmes finos e refletância
- Análise em tempo real do estado do plasma para câmaras de processo a vácuo
- LAM Research 2300, 9400, ExAL e outras plataformas de processo principais
FAQ:
P1: Qual é a condição do produto e como é a garantia?
R: Itens novos e originais. Garantia de 1 ano incluída.
P2: Quais são as condições de pagamento?
R: T/T, Paypal suportados.
P3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
R: Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos raros exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
P4: Envio e rastreamento
R: DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.
P5: Embalagem e segurança
R: Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixotes de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.