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Novo em folha Lam Research SM930MS102CK controlador de fluxo de massa

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Alta precisão, desempenho estável

Adequado para automação industrial

Em estoque e entrega rápida em todo o mundo

  • Item NÃO.:

    SM930MS102CK

  • Pedido (quantidade mínima):

    1

  • Pagamento:

    100% T/T

  • Origem do Produto:

    USA

  • Cor:

    As Model

  • Porto de embarque:

    Xiamen

  • Tempo de espera：

    2-3 days
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  • Detalhes do produto

Descrição:

Os espectrômetros de fibra óptica da LAM Research são dispositivos de monitoramento óptico de alta precisão integrados para equipamentos de processamento de wafers semicondutores. Principalmente acoplados a módulos ópticos profissionais, adotam um design de transmissão por fibra óptica para capturar emissão de plasma, espectros de reflexão e transmissão dentro das câmaras de processo. Amplamente utilizados para detecção de ponto final de corrosão (etch endpoint), metrologia de filmes finos e monitoramento em tempo real das condições de plasma, essas unidades garantem desempenho de processo estável, melhoram o rendimento de produção e reduzem produtos defeituosos em processos de gravação, CVD, PVD e outros procedimentos de fabricação a vácuo. Como componentes compatíveis OEM originais, apresentam excelente compatibilidade e confiabilidade de longo prazo para ferramentas de processo da série completa da LAM.
 
 
 
Especificações principais:
  1. Equipados com detectores CCD/PMT de alta sensibilidade, oferecendo excelente resolução espectral e baixo ruído. Cobre a faixa de comprimento de onda UV-visível para atender às diversas demandas de monitoramento de processos de semicondutores.
  2. Interfaces de fibra SMA padrão suportam transmissão de sinal a longa distância. Sondas compatíveis com vácuo funcionam de forma estável em ambientes de alto vácuo, alta temperatura e plasma.
  3. A análise espectral em tempo real permite julgamento preciso do ponto final de corrosão (etch endpoint), medição da espessura de filmes finos e das propriedades ópticas, evitando efetivamente sobre-etching e under-etching.
  4. Portas de comunicação Ethernet e RS-232 integradas, totalmente compatíveis com os protocolos dos equipamentos LAM para interação de dados e integração de sistemas sem interrupções.
  5. Estrutura compacta e robusta com capacidade anti-vibração e anti-interferência. Suporta operação contínua 24/7 e substituição fácil no local.
 

 

Aplicações típicas:

  1. Sistemas de gravação por plasma, equipamentos de deposição de filmes finos CVD, PVD e ALD
  2. Detecção de ponto final em processos de gravação de wafers
  3. Medição in situ da espessura de filmes finos e refletância
  4. Análise em tempo real do estado do plasma em câmaras de processo a vácuo
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL e outras plataformas de processo principais

 

 

FAQ:

Q1: Qual é a condição do produto e como funciona a garantia?
R: Itens originais novos. Garantia de 1 ano incluída.

Q2: Quais são as condições de pagamento?
R: T/T, Paypal suportados.

Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
R: Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos exigem pedido ao fabricante — entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.

Q4: Envio e rastreamento
R: DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.

Q5: Embalagem e segurança

 

R: Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixas de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.

 

 

Tags relacionadas : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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