Descrição:
Os MKS RF Matchers (também chamados de caixas/redes de casamento de RF) são dispositivos automáticos de casamento de impedância de alto desempenho projetados para sistemas de plasma industriais e de semicondutores. Eles alinham dinamicamente a impedância de saída de 50Ω dos geradores de RF com a impedância variável das câmaras de plasma, equipamentos de ataque (etchers), PECVD e ferramentas de sputtering, minimizando a potência refletida e maximizando a eficiência de transferência de potência. Com ajuste rápido, blindagem robusta e designs compactos para montagem em rack, garantem ignição de plasma estável, desempenho de processo consistente e confiabilidade de produção 24/7. Disponíveis em condições novas, recondicionadas e totalmente testadas usadas.
Especificações principais:
- Casamento Automático de Impedância: Ajuste em tempo real para corresponder a saída de 50Ω do gerador à impedância variável da carga de plasma; minimiza a potência refletida (tipicamente
- Velocidade de Ajuste Rápida: Resposta de alta velocidade (
- Cobertura ampla de frequência e potência: suporta 13.56MHz (padrão), 27.12MHz, 40.68MHz; potências de 300W a 10kW
- Construção robusta: gabinete metálico de alta resistência com blindagem EMI/RFI; resfriamento a ar padrão (opção refrigerada a água para modelos de alta potência)
- Componentes de precisão: capacitores variáveis de alta qualidade, indutores e motores de passo para longa vida útil de ciclo (1,000,000+ cycles)
Aplicações:
- Fabricação de semicondutores: gravação RIE/ICP, deposição PECVD/LPCVD, ashing de plasma, limpeza de wafers, sistemas de load lock
- Revestimento a vácuo: Sputtering, evaporação, deposição de filmes finos PVD/CVD para óptica, displays e células solares
- Tratamento industrial de plasma: ativação de superfície, limpeza, gravação e revestimento para metais, plásticos e cerâmicas
- Pesquisa e desenvolvimento: laboratórios universitários, instituições de pesquisa e linhas de produção piloto que exigem fornecimento estável de plasma RF
FAQ:
Q1:Qual é a situação do produto e como é a garantia?
A:Itens novos e genuínos. Garantia de 1 ano incluída.
Q2:Quais são as suas condições de pagamento?
A:T/T, Paypal suportado.
Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
A:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 business days após o pagamento. Modelos escassos exigem encomenda ao fabricante—contate o atendimento ao cliente para prazos.
Q4:Envio e rastreamento
A:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecido após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.
Q5:Embalagem e segurança
A:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixas de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e a impactos.