Descrição:
Os MKS RF Matchers (também chamados de caixas de casamento RF/redes de casamento RF) são dispositivos automáticos de correspondência de impedância de alto desempenho projetados para sistemas de plasma industriais e de semicondutores. Eles alinham dinamicamente a impedância de saída de 50Ω dos geradores de RF com a impedância variável das câmaras de plasma, gravadores (etchers), ferramentas PECVD e sputtering, minimizando a potência refletida e maximizando a eficiência de transferência de energia. Com sintonia rápida, blindagem robusta e designs compactos para montagem em rack, eles garantem ignição de plasma estável, desempenho de processo consistente e confiabilidade de produção 24/7. Disponíveis em condições novas, recondicionados e totalmente testados usados.
Especificações principais:
- Correspondência de Impedância Automática: Ajuste em tempo real para casar a saída de 50Ω do gerador com a impedância variável da carga de plasma; minimiza a potência refletida (tipicamente
- Velocidade de Sintonia Rápida: Resposta de alta velocidade (
- Ampla Cobertura de Frequência e Potência: Suporta 13.56MHz (padrão), 27.12MHz, 40.68MHz; faixas de potência de 300W a 10kW
- Construção Robusta: Gabinete metálico reforçado com blindagem EMI/RFI; resfriamento a ar padrão (opção com resfriamento a água para modelos de alta potência)
- Componentes de Precisão: Capacitores variáveis de alta qualidade, indutores e motores de passo para longa vida útil de ciclo (mais de 1.000.000 de ciclos)
Aplicações:
- Fabricação de Semicondutores: gravação RIE/ICP, deposição PECVD/LPCVD, ashing de plasma, limpeza de wafers, sistemas de load lock
- Revestimento a Vácuo: Sputtering, evaporação, deposição de filmes finos PVD/CVD para óptica, displays e células solares
- Tratamento Industrial de Plasma: ativação de superfície, limpeza, gravação e revestimento para metais, plásticos e cerâmicas
- Pesquisa e Desenvolvimento: laboratórios universitários, instituições de pesquisa e linhas de produção piloto que exigem fornecimento estável de plasma RF
FAQ:
Q1:Qual é a condição do produto e como é a garantia?
R:Itens originais novos. Garantia de 1 ano incluída.
Q2:Quais são as suas condições de pagamento?
R:T/T, Paypal suportado.
Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
R:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
Q4:Envio e rastreamento
R:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento completo do processo por nossa equipe.
Q5:Embalagem e segurança
R:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixas de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.