Descrição:
Os espectrômetros de fibra óptica da LAM Research são dispositivos de monitoramento óptico de alta precisão integrados a equipamentos de processamento de wafers semicondutores. Principalmente combinados com módulos ópticos profissionais, eles adotam um design de transmissão por fibra óptica para capturar emissão de plasma, espectros de reflexão e transmissão dentro das câmaras de processo. Amplamente utilizados para detecção de ponto final de gravação (etch), metrologia de filmes finos e monitoramento em tempo real das condições de plasma, essas unidades garantem desempenho de processo estável, melhoram o rendimento de produção e reduzem produtos defeituosos em processos de gravação, CVD, PVD e outros procedimentos de fabricação a vácuo. Como componentes compatíveis originais OEM, apresentam excelente compatibilidade e confiabilidade de longo prazo para ferramentas de processo da série completa da LAM.
Especificações principais:
- Equipados com detectores CCD/PMT de alta sensibilidade, oferecendo excelente resolução espectral e baixo ruído. Cobre a faixa de comprimento de onda UV-visível para atender às diversas demandas de monitoramento de processos semicondutores.
- Interfaces de fibra SMA padrão suportam transmissão de sinal a longa distância. Sondas compatíveis com vácuo operam de forma estável em ambientes de alto vácuo, alta temperatura e plasma.
- A análise espectral em tempo real permite julgamento preciso do ponto final de gravação, medição da espessura de filmes finos e das propriedades ópticas, evitando eficazmente sobregravação e subgravação.
- Portas de comunicação Ethernet e RS-232 integradas, totalmente compatíveis com protocolos de equipamentos LAM para interação de dados e integração de sistemas sem interrupções.
- Estrutura compacta e robusta com capacidade antivibração e anti-interferência. Suporta operação contínua 24/7 e fácil substituição no local.
Aplicações típicas:
- Sistemas de gravação por plasma, equipamentos de deposição de filmes finos CVD, PVD e ALD
- Detecção de ponto final para processos de gravação de wafers
- Medição in-situ da espessura de filmes finos e refletância
- Análise em tempo real do estado do plasma para câmaras de processo a vácuo
- LAM Research 2300, 9400, ExAL e outras plataformas de processo principais
Perguntas frequentes:
Q1:Qual é a situação do produto e como funciona a garantia?
A:Itens novos e originais. Garantia de 1 ano incluída.
Q2:Quais são os seus termos de pagamento?
A:T/T, Paypal suportados.
Q3:Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
A:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos raros exigem encomenda ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
Q4:Envio e rastreamento
A:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo por nossa equipe.
Q5:Embalagem e segurança
A:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixotes de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.