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Novo em folha Lam Research 98008SA10F3P1 Controlador de fluxo de massa

Novo em folha Lam Research 98008SA10F3P1 Controlador de fluxo de massa

Novo em folha Lam Research 98008SA10F3P1 Controlador de fluxo de massa

Alta precisão, desempenho estável

Adequado para automação industrial

Em estoque e entrega rápida em todo o mundo

  • Item NÃO.:

    98008SA10F3P1

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    USA

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Descrição:

Os MFCs da LAM Research são componentes de missão crítica para a fabricação de semicondutores, projetados para regular as taxas de fluxo de gás com precisão excepcional nos sistemas de etch, ash e deposição da LAM. Construídos para atender às exigentes demandas da fabricação em nós de 5nm–7nm, esses controladores mantêm fornecimento de gás consistente, impactando diretamente a uniformidade do wafer, o rendimento e a estabilidade do processo. Seja para gases de etch fluorados, gases de arraste inertes ou gases reativos de deposição, os MFCs da LAM oferecem desempenho confiável e repetível em ambientes de sala limpa 24/7.
 
 
Especificações principais:
  1. Controlador de fluxo de massa OEM da LAM Research (MFC)
  2. ±1% de precisão em FS, ±0,1% de repetibilidade para processos em nanoescala
  3. Faixas: 10 sccm–10 slm; compatível com NF₃, HBr, O₂, N₂, Ar
  4. Interfaces: Analógico (0–5V/4–20mA), DeviceNet, EtherCAT
  5. Molhado 316L SS/PTFE; conexões 1/4" VCR
 

 

Aplicações típicas:

  1. Semicondutor Etch: processos de gravação dielétrica, condutora e de silício (2300 Versys, TCP9600)
  2. Deposição (CVD/PVD): deposição de filmes finos para nós avançados
  3. Processamento de plasma: ashing, stripping e tratamento de superfície
  4. Fabricação de wafers: fabs de 200mm/300mm, processos 5nm–7nm

 

 

Perguntas frequentes:

Q1:What is the product situation and warranty like?
A:Itens genuínos novos. Garantia de 1 ano incluída.

Q2:What is your payment terms?
A:T/T, Paypal suportados.

Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.

Q4:Shipping & Tracking
A:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.

Q5:Embalagem & Segurança

 

A:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixas de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.

 

 

Tags relacionadas : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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