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Novo de fábrica Lam Research 98008RFRSA10P1 Controlador de fluxo de massa

Novo de fábrica Lam Research 98008RFRSA10P1 Controlador de fluxo de massa

Novo de fábrica Lam Research 98008RFRSA10P1 Controlador de fluxo de massa

Alta precisão, desempenho estável

Adequado para automação industrial

Em estoque & entrega rápida em todo o mundo

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    98008RFRSA10P1

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    USA

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    As Model

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Descrição:

Os MFCs da LAM Research são componentes de missão crítica para a fabricação de semicondutores, projetados para regular as taxas de fluxo de gás com precisão excepcional nos sistemas de etch, ash e deposição da LAM. Construídos para atender às exigências rigorosas da fabricação em nós de 5nm–7nm, esses controladores mantêm fornecimento de gás consistente, impactando diretamente a uniformidade do wafer, o rendimento e a estabilidade do processo. Seja para gases de etch fluorados, gases portadores inertes ou gases de deposição reativos, os MFCs da LAM fornecem desempenho confiável e repetível em ambientes de sala limpa 24/7.
 
 
Especificações principais:
  1. Controlador de fluxo de massa OEM (MFC) da LAM Research
  2. Precisão de ±1% FS, repetibilidade de ±0,1% para processos em escala nanométrica
  3. Faixas: 10 sccm–10 slm; compatível com NF₃, HBr, O₂, N₂, Ar
  4. Interfaces: Analógico (0–5V/4–20mA), DeviceNet, EtherCAT
  5. Partes molhadas em 316L SS/PTFE; conexões VCR de 1/4"
 

 

Aplicações típicas:

  1. Etch de semicondutores: processos de etch de dielétrico, condutor e silício (2300 Versys, TCP9600)
  2. Deposição (CVD/PVD): deposição de filmes finos para nós avançados
  3. Processamento de plasma: ashing, stripping e tratamento de superfície
  4. Fabricação de wafers: fabs de 200mm/300mm, processos de 5nm–7nm

 

 

Perguntas frequentes:

Q1:What is the product situation and warranty like?
R:Itens novos e genuínos. Garantia de 1 ano incluída.

Q2:What is your payment terms?
R:T/T, PayPal suportado.

Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
R: Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.

Q4:Envio e rastreamento
R:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo por nossa equipe.

Q5:Embalagem e segurança

 

R:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, engradados de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e a impactos.

 

 

Tags relacionadas : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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