Descrição:
MKS RF Matchers (também chamados de caixas/redes de casamento de RF) são dispositivos de casamento de impedância automático de alto desempenho projetados para sistemas de plasma industriais e de semicondutores. Eles alinham dinamicamente a impedância de saída de 50Ω dos geradores de RF com a impedância variável de câmaras de plasma, gravadores (etchers), PECVD e equipamentos de sputtering, minimizando a potência refletida e maximizando a eficiência de transferência de potência. Com ajuste rápido, blindagem robusta e designs compactos para montagem em rack, eles garantem ignição de plasma estável, desempenho de processo consistente e confiabilidade de produção 24/7. Disponíveis em condições novas, recondicionadas e usadas totalmente testadas.
Especificações principais:
- Casamento automático de impedância: Ajuste em tempo real para combinar a saída de 50Ω do gerador com a impedância variável da carga de plasma; minimiza a potência refletida (tipicamente
- Velocidade de ajuste rápida: resposta de alta velocidade (
- Ampla cobertura de frequência e potência: suporta 13.56MHz (padrão), 27.12MHz, 40.68MHz; potência de 300W a 10kW
- Construção robusta: gabinete metálico reforçado com blindagem EMI/RFI; resfriamento a ar padrão (opção com resfriamento a água para modelos de alta potência)
- Componentes de precisão: capacitores variáveis de alta qualidade, indutores e motores de passo para longa vida útil (mais de 1.000.000 de ciclos)
Aplicações:
- Fabricação de semicondutores: gravação RIE/ICP, deposição PECVD/LPCVD, ashing de plasma, limpeza de wafers, sistemas de load lock
- Revestimento a vácuo: sputtering, evaporação, deposição de filmes finos PVD/CVD para óptica, displays e células solares
- Tratamento de plasma industrial: ativação de superfície, limpeza, gravação e revestimento para metais, plásticos e cerâmicas
- Pesquisa e desenvolvimento: laboratórios universitários, instituições de pesquisa e linhas de produção piloto que exigem fornecimento estável de plasma RF
Perguntas frequentes:
Q1: Qual é a condição do produto e como é a garantia?
A: Itens novos e originais. Garantia de 1 ano incluída.
Q2: Quais são as condições de pagamento?
A: T/T, Paypal suportados.
Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
A: Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos raros exigem pedido ao fabricante — entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
Q4: Envio e rastreamento
A: DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo por nossa equipe.
Q5: Embalagem e segurança
A: Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixas de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e a impactos.