Descrição:
MKS RF Matchers (também chamados de caixas/redes de correspondência RF) são dispositivos de correspondência de impedância automática de alto desempenho, projetados para sistemas de plasma industriais e semicondutores. Eles alinham dinamicamente a impedância de saída de 50Ω dos geradores RF com a impedância variável de câmaras de plasma, gravadores, PECVD e ferramentas de sputtering, minimizando a potência refletida e maximizando a eficiência de transferência de energia. Com sintonia rápida, blindagem robusta e designs compactos para montagem em rack, garantem ignição estável do plasma, desempenho consistente do processo e confiabilidade de produção 24/7. Disponível em condições novas, recondicionadas e usadas totalmente testadas.
Especificações principais:
- Correspondência Automática de Impedância: Sintonia em tempo real para ajustar a saída de 50Ω do gerador à impedância variável da carga de plasma; minimiza a potência refletida (tipicamente
- Velocidade de Sintonia Rápida: Resposta de alta velocidade (
- Cobertura Ampla de Frequência e Potência: Suporta 13,56MHz (padrão), 27,12MHz, 40,68MHz; classificações de potência de 300W a 10kW
- Construção Robusta: Gabinete metálico resistente com blindagem EMI/RFI; resfriamento a ar padrão (opção de resfriamento a água para modelos de alta potência)
- Componentes de Precisão: Capacitores variáveis, indutores e motores de passo de alta qualidade para longa vida útil (mais de 1.000.000 de ciclos)
Aplicações:
- Fabricação de Semicondutores: Gravação RIE/ICP, deposição PECVD/LPCVD, limpeza de plasma, limpeza de wafers, sistemas de carga de bloqueio
- Revestimento a Vácuo: Sputtering, evaporação, deposição de filmes finos PVD/CVD para óptica, displays e células solares
- Tratamento Industrial de Plasma: Ativação de superfícies, limpeza, gravação e revestimento para metais, plásticos e cerâmicas
- Pesquisa & Desenvolvimento: Laboratórios universitários, instituições de pesquisa e linhas de produção piloto que exigem fornecimento estável de plasma RF
Perguntas Frequentes:
P1:Qual é a situação do produto e a garantia?
R:Itens genuínos novos. Garantia de 1 ano incluída.
P2:Quais são seus termos de pagamento?
R:T/T, Paypal suportado.
P3:Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
R:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos exigem pedido ao fabricante—contate o atendimento ao cliente para prazos.
P4:Envio & Rastreamento
R:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento completo do processo pela nossa equipe.
P5:Embalagem & Segurança
R:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixotes de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.