Controlador Automático de Válvula de Exaustão de Pressão MKS 152E-P1 Novo

1. Estabilização de pressão de precisão PID padrão da indústria
2. Dois modos de funcionamento para atender às diversas necessidades de produção
3. Interconexão completa de sinais e automação remota
4. Softstart e operação estável com múltiplas proteções
5. Compatibilidade perfeita de ecossistema com componentes de vácuo MKS

Aplicação：

1. Fabricação de wafers semicondutores: máquina de gravação por plasma, equipamento de deposição CVD, sistema de sputtering PVD, câmara de vácuo para limpeza de wafers
2. Indústria optoeletrônica e de displays: revestimento de filmes finos OLED/LCD, sputtering de substratos de vidro, linha de revestimento a vácuo para lentes ópticas
3. Manufatura de novas energias: linha de produção de deposição de células solares de filme fino, equipamentos de processamento a vácuo de materiais de baterias
4. Laboratório e pesquisa científica: bancada de testes de alto vácuo, forno de vácuo de precisão, plataforma experimental de tratamento de superfície de materiais