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Novo em folha Lam Research 98008SA6F3P3 Controlador de fluxo de massa

Novo em folha Lam Research 98008SA6F3P3 Controlador de fluxo de massa

Novo em folha Lam Research 98008SA6F3P3 Controlador de fluxo de massa

Alta precisão, desempenho estável

Adequado para automação industrial

Em estoque e entrega rápida em todo o mundo

  • Item NÃO.:

    98008SA6F3P3

  • Pedido (quantidade mínima):

    1

  • Pagamento:

    100% T/T

  • Origem do Produto:

    USA

  • Cor:

    As Model

  • Porto de embarque:

    Xiamen

  • Tempo de espera：

    2-3 days
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  • Detalhes do produto

Descrição:

Os MFCs da LAM Research são componentes de missão crítica para a fabricação de semicondutores, projetados para regular as taxas de fluxo de gás com precisão excepcional nos sistemas de etch, ash e deposição da LAM. Construídos para atender às exigências rigorosas da fabricação em nós de 5nm–7nm, esses controladores mantêm o fornecimento consistente de gás, impactando diretamente a uniformidade do wafer, o rendimento e a estabilidade do processo. Seja para gases de etch fluorados, gases inertes de transporte ou gases reativos de deposição, os MFCs da LAM oferecem desempenho confiável e repetível em ambientes de sala limpa 24/7.
 
 
Especificações principais:
  1. Controlador de fluxo de massa OEM da LAM Research (MFC)
  2. Precisão de ±1% FS, repetibilidade de ±0.1% para processos em nanoescala
  3. Faixas: 10 sccm–10 slm; compatível com NF₃, HBr, O₂, N₂, Ar
  4. Interfaces: Analógica (0–5V/4–20mA), DeviceNet, EtherCAT
  5. Partes molhadas 316L SS/PTFE; conexões VCR de 1/4"
 

 

Aplicações típicas:

  1. Processo de etch em semicondutores: processos de etch dielétrico, condutor e de silício (2300 Versys, TCP9600)
  2. Deposição (CVD/PVD): deposição de filmes finos para nós avançados
  3. Processamento de plasma: ashing, stripping e tratamento de superfície
  4. Fabricação de wafers: fabs de 200mm/300mm, processos de 5nm–7nm

 

 

FAQ:

P1: Qual é a condição do produto e como funciona a garantia?
R: Itens novos e originais de fábrica. Garantia de 1 ano incluída.

P2: Quais são as condições de pagamento?
R: T/T, Paypal suportados.

P3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
R: Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos raros exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.

P4:Envio & Rastreamento
R: DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.

P5:Embalagem & Segurança

 

R: Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixas de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.

 

 

Tags relacionadas : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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