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Controlador de Fluxo de Massa Lam Research 839-034671-001 Novo de Fábrica

Controlador de Fluxo de Massa Lam Research 839-034671-001 Novo de Fábrica

Controlador de Fluxo de Massa Lam Research 839-034671-001 Novo de Fábrica

Alta precisão, desempenho estável

Adequado para automação industrial

Em estoque e entrega rápida em todo o mundo

  • Item NÃO.:

    839-034671-001

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    USA

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    As Model

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    Xiamen

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    2-3 days
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Descrição:

Espectrômetros de fibra óptica da LAM Research são dispositivos de monitoramento óptico de alta precisão integrados a equipamentos de processamento de wafers semicondutores. Principalmente acoplados a módulos ópticos profissionais, eles adotam um design de transmissão por fibra óptica para capturar emissão de plasma, reflexão e espectros de transmissão dentro das câmaras de processo. Amplamente utilizados para detecção de endpoint de gravação, metrologia de filmes finos e monitoramento em tempo real das condições do plasma, essas unidades garantem desempenho de processo estável, melhoram o rendimento de produção e reduzem produtos defeituosos em processos de etching, CVD, PVD e outros procedimentos de fabricação a vácuo. Como componentes originais compatíveis com OEM, apresentam excelente compatibilidade e confiabilidade de longo prazo para ferramentas de processo da série completa da LAM.
 
 
 
Especificações principais:
  1. Equipados com detectores CCD/PMT de alta sensibilidade, oferecendo excelente resolução espectral e baixo ruído. Cobre a faixa de comprimento de onda UV-visível para atender às diversas demandas de monitoramento de processos semicondutores.
  2. Interfaces de fibra SMA padrão suportam transmissão de sinal a longa distância. Sondas compatíveis com vácuo operam de forma estável em ambientes de alto vácuo, alta temperatura e plasma.
  3. A análise espectral em tempo real permite julgamento preciso do endpoint de etching, medição da espessura de filmes finos e propriedades ópticas, evitando efetivamente super-etching e sub-etching.
  4. Portas de comunicação Ethernet e RS-232 integradas, totalmente compatíveis com os protocolos de equipamentos LAM para interação de dados e integração de sistema sem interrupções.
  5. Estrutura compacta e robusta com capacidade anti-vibração e anti-interferência. Suporta operação contínua 24/7 e fácil substituição no local.
 

 

Aplicações típicas:

  1. Sistemas de etching por plasma, equipamentos de deposição de filmes finos CVD, PVD e ALD
  2. Detecção de endpoint para processos de etching de wafers
  3. Medição in situ da espessura de filmes finos e refletância
  4. Análise em tempo real do estado do plasma para câmaras de processo a vácuo
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL e outras plataformas de processo principais

 

 

Perguntas frequentes:

Q1: Qual é a situação do produto e como é a garantia?
A: Produtos novos e originais. Garantia de 1 ano incluída.

Q2: Quais são os termos de pagamento?
A: T/T, Paypal suportados.

Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
A: Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.

Q4: Envio e rastreamento
A: DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.

Q5: Embalagem e segurança

 

A: Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixotes de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.

 

 

Tags relacionadas : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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