Descrição:
A Lam Research Temperature Control Board é um componente central de gestão térmica para sistemas de gravação (etch), deposição e processamento de wafers de semicondutores. Fornece regulação de temperatura multicanal de alta precisão para manter rigorosa uniformidade térmica em câmaras de processo, mandris eletrostáticos (ESCs) e estágios de wafer. Projetado para operação 24/7 em ambientes de alto vácuo, alta temperatura e plasma, garante temperatura consistente do wafer, estabiliza receitas de processo e maximiza o rendimento de produção. Placas OEM genuínas da Lam garantem compatibilidade plug-and-play, calibração precisa e confiabilidade de longo prazo para fabs de semicondutores de nós avançados (2nm/3nm).
Especificações principais:
- Conjunto de PCB original da Lam Research, totalmente compatível com gravadores Kiyo, plataformas ExAL e sistemas CVD/PVD. Calibrado e testado de fábrica para integração perfeita.
- Suporta 16–24 canais (entradas Pt100 RTD/termopar); atinge estabilidade de ±0,1°C na faixa de 25–150°C por meio de algoritmos PID de autoajuste.
- Controle em malha fechada para aquecimento/resfriamento (compatível com TEC); feedback de sensores em tempo real com amostragem de 500 Hz; compensação de deriva ambiente e atraso de sensores.
- Avaliado para vácuo (≤1×10⁻⁶ Torr), blindado contra EMI, resistente a vibração; opera de forma confiável a 0–55°C com imunidade a interferência de plasma e RF.
- Design modular, hot-swappable para substituição rápida; diagnósticos integrados para temperatura, integridade dos sensores e registro de falhas; reduz paradas não planejadas.
Aplicações típicas:
- Sistemas de gravação por plasma da Lam Research (Kiyo, ExAL, série 9000)
- Equipamentos de deposição de filmes finos CVD/PVD/ALD
- Câmaras de processo de wafer de 200mm / 300mm e ESCs
- Fabs de lógica/memória avançada (nós 2nm/3nm)
- Manutenção de fabs de semicondutores, peças sobressalentes e upgrades
FAQ:
Q1:Qual é a situação do produto e como é a garantia?
A:Itens genuínos novos. Garantia de 1 ano incluída.
Q2:Quais são as suas condições de pagamento?
A:T/T, Paypal suportados.
Q3:Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
A:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos requerem encomenda ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
Q4:Envio e rastreamento
A:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecido após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.
Q5:Embalagem e segurança
A:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixas de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.