Descrição:
A Placa de Controle de Temperatura da Lam Research é um componente central de gerenciamento térmico para sistemas de ataque (etch), deposição e processamento de wafers em semicondutores. Ela fornece regulação de temperatura multicanal de alta precisão para manter uma uniformidade térmica rigorosa em câmaras de processo, chucks eletrostáticos (ESCs) e estágios de wafer. Projetada para operação 24/7 em ambientes de alto vácuo, alta temperatura e plasma, garante temperatura consistente do wafer, estabiliza receitas de processo e maximiza o rendimento de produção. Placas OEM genuínas da Lam garantem compatibilidade plug-and-play, calibração precisa e confiabilidade de longo prazo para fábricas de semicondutores de nós avançados (2nm/3nm).
Especificações principais:
- Conjunto de PCB original da Lam Research, totalmente compatível com atacadores Kiyo, plataformas ExAL e sistemas CVD/PVD. Calibrado e testado de fábrica para integração perfeita.
- Suporta 16–24 canais (entradas Pt100 RTD/termopar); alcança estabilidade de ±0,1°C na faixa de 25–150°C por meio de algoritmos PID de autoajuste.
- Controle em malha fechada para aquecimento/resfriamento (compatível com TEC); feedback de sensor em tempo real com amostragem de 500 Hz; compensação de deriva ambiente e atraso de sensor.
- Classificação para vácuo (≤1×10⁻⁶ Torr), blindagem EMI, resistente a vibração; opera de forma confiável a 0–55°C com imunidade a interferência de plasma e RF.
- Design modular hot-swappable para substituição rápida; diagnósticos embarcados para temperatura, integridade de sensores e registro de falhas; reduz tempo de inatividade não planejado.
Aplicações típicas:
- Sistemas de gravação por plasma da Lam Research (Kiyo, ExAL, série 9000)
- Equipamentos de deposição de filmes finos CVD/PVD/ALD
- Câmaras de processo de wafer de 200 mm / 300 mm e ESCs
- Fábricas avançadas de lógica/memória (nós 2nm/3nm)
- Manutenção de fábricas de semicondutores, peças de reposição e upgrades
Perguntas frequentes:
Q1:Qual é a situação do produto e a garantia?
R:Itens originais novos. Garantia de 1 ano incluída.
Q2:Quais são suas condições de pagamento?
R:T/T, Paypal suportados.
Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
R:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
Q4:Envio e rastreamento
R:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.
Q5:Embalagem e segurança
R:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixotes de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.