Descrição:
A placa de controle de temperatura Lam Research é um componente central de gerenciamento térmico para sistemas de gravação, deposição e processamento de wafers de semicondutores. Ela fornece regulação de temperatura multicanal de alta precisão para manter uma uniformidade térmica rigorosa em câmaras de processo, chucks eletrostáticos (ESCs) e estágios de wafer. Projetada para operação 24/7 em ambientes de alto vácuo, alta temperatura e plasma, ela garante temperatura consistente do wafer, estabiliza receitas de processo e maximiza o rendimento de produção. Placas OEM genuínas da Lam garantem compatibilidade plug-and-play, calibração precisa e confiabilidade de longo prazo para fábricas de semicondutores de nós avançados (2nm/3nm).
Especificações principais:
- Conjunto de PCB original Lam Research, totalmente compatível com gravadores Kiyo, plataformas ExAL e sistemas CVD/PVD. Calibrado e testado de fábrica para integração perfeita.
- Suporta 16–24 canais (entradas Pt100 RTD/termopar); alcança estabilidade de ±0,1°C na faixa de 25–150°C por meio de algoritmos PID de autoajuste.
- Controle em malha fechada para aquecimento/resfriamento (compatível com TEC); feedback de sensores em tempo real com amostragem de 500Hz; compensação de deriva ambiental e atraso de sensores.
- Classificação para vácuo (≤1×10⁻⁶ Torr), blindagem EMI, resistente a vibrações; opera de forma confiável entre 0–55°C com imunidade a plasma e interferência de RF.
- Design modular e hot-swappable para substituição rápida; diagnósticos integrados para temperatura, saúde dos sensores e registro de falhas; reduz tempo de inatividade não planejado.
Aplicações típicas:
- Sistemas de gravação por plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, série 9000)
- Equipamentos de deposição de filmes finos CVD/PVD/ALD
- Câmaras de processo de wafer de 200mm / 300mm e ESCs
- Fábricas de semicondutores de lógica/memória avançada (nós 2nm/3nm)
- Manutenção de fabs de semicondutores, peças de reposição e atualizações
Perguntas frequentes:
Q1:Qual é a situação do produto e como é a garantia?
A:Itens novos e originais. Garantia de 1 ano incluída.
Q2:Quais são as suas condições de pagamento?
A:T/T, Paypal suportado.
Q3: Qual é o tempo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
A:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
Q4:Envio e rastreamento
A:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo por nossa equipe.
Q5:Embalagem e segurança
A:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixas de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impacto.