Descrição:
Os espectrômetros de fibra óptica da LAM Research são dispositivos de monitoramento óptico de alta precisão integrados para equipamentos de processamento de wafers semicondutores. Principalmente acoplados a módulos ópticos profissionais, eles adotam design de transmissão por fibra óptica para capturar emissão de plasma, espectros de reflexão e transmissão dentro das câmaras de processo. Amplamente utilizados para detecção de endpoint de etch, metrologia de filmes finos e monitoramento em tempo real das condições do plasma, essas unidades garantem desempenho de processo estável, melhoram o rendimento de produção e reduzem produtos defeituosos em processos de etching, CVD, PVD e outras manufaturas a vácuo. Como componentes compatíveis OEM originais, apresentam excelente compatibilidade e confiabilidade de longo prazo para ferramentas de processo da série completa da LAM Research.
Principais especificações:
- Equipados com detectores CCD/PMT de alta sensibilidade, oferecendo excelente resolução espectral e baixo ruído. Cobrem a faixa de comprimento de onda UV-visível para atender às diversas demandas de monitoramento de processos semicondutores.
- Interfaces padrão de fibra SMA suportam transmissão de sinal de longa distância. Sondas compatíveis com vácuo operam de forma estável em ambientes de alto vácuo, alta temperatura e plasma.
- Análise espectral em tempo real permite julgamento preciso do endpoint de etch, medição de espessura de filmes finos e propriedades ópticas, evitando efetivamente over-etching e under-etching.
- Portas de comunicação Ethernet e RS-232 integradas, totalmente compatíveis com protocolos de equipamentos da LAM para interação de dados contínua e integração de sistema.
- Estrutura compacta e robusta com capacidade anti-vibração e anti-interferência. Suporta operação contínua 24/7 e fácil substituição no local.
Aplicações típicas:
- Sistemas de gravação a plasma, equipamentos de deposição de filmes finos CVD, PVD e ALD
- Detecção de endpoint para processos de gravação de wafers
- Medição in-situ de espessura de filmes finos e refletância
- Análise em tempo real do estado do plasma para câmaras de processo a vácuo
- LAM Research 2300, 9400, ExAL e outras plataformas de processo principais
Perguntas frequentes:
Q1:Qual é a condição do produto e como é a garantia?
A:Itens novos e originais. Garantia de 1 ano incluída.
Q2:Quais são os termos de pagamento?
A:Aceitamos T/T, Paypal.
Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
A:Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
Q4:Envio e rastreamento
A:DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.
Q5:Embalagem e segurança
A:Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixotes de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e a impactos.