Descrição:
Os espectrômetros de fibra óptica da LAM Research são dispositivos de monitoramento óptico de alta precisão integrados a equipamentos de processamento de wafers semicondutores. Principalmente acoplados a módulos ópticos profissionais, adotam um design de transmissão por fibra óptica para capturar emissão de plasma, reflexão e espectros de transmissão dentro das câmaras de processo. Amplamente utilizados para detecção de ponto final de ataque (etch), metrologia de filmes finos e monitoramento em tempo real das condições de plasma, essas unidades garantem desempenho estável do processo, melhoram o rendimento de produção e reduzem produtos defeituosos em processos de etching, CVD, PVD e outras fabricações a vácuo. Como componentes compatíveis OEM originais, apresentam excelente compatibilidade e confiabilidade de longo prazo para ferramentas de processo da série completa da LAM.
Especificações principais:
- Equipados com detectores CCD/PMT de alta sensibilidade, oferecendo excelente resolução espectral e baixo ruído. Abrangem a faixa de comprimento de onda UV-visível para atender às diversas demandas de monitoramento de processos semicondutores.
- Interfaces de fibra SMA padrão suportam transmissão de sinal de longa distância. Sondas compatíveis com vácuo funcionam de forma estável em ambientes de alto vácuo, alta temperatura e plasma.
- A análise espectral em tempo real permite julgamento preciso do ponto final de etch, medição da espessura de filmes finos e das propriedades ópticas, evitando eficazmente sobreataque e subataque.
- Portas de comunicação Ethernet e RS-232 integradas, totalmente compatíveis com os protocolos de equipamentos da LAM para interação de dados e integração de sistemas sem interrupções.
- Estrutura compacta e robusta com capacidade anti-vibração e anti-interferência. Suporta operação contínua 24/7 e fácil substituição no local.
Aplicações típicas:
- Sistemas de etching de plasma, equipamentos de deposição de filmes finos CVD, PVD e ALD
- Detecção de ponto final para processos de etch de wafers
- Medição in situ de espessura de filmes finos e refletância
- Análise em tempo real do estado do plasma para câmaras de processo a vácuo
- LAM Research 2300, 9400, ExAL e outras plataformas de processo principais
Perguntas frequentes:
P1:Qual é a situação do produto e como é a garantia?
R: Produtos originais totalmente novos. Garantia de 1 ano incluída.
P2:Quais são os seus termos de pagamento?
R: T/T, Paypal suportados.
P3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
R: Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos exigem pedido ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
P4:Envio e rastreamento
R: DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.
P5:Embalagem e segurança
R: Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, engradados de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e impactos.