Descrição:
Os espectrômetros de fibra óptica LAM Research são dispositivos de monitoramento óptico de alta precisão integrados a equipamentos de processamento de wafers semicondutores. Principalmente acoplados a módulos ópticos profissionais, eles adotam design de transmissão por fibra óptica para capturar emissão de plasma, reflexão e espectros de transmissão dentro das câmaras de processo. Amplamente utilizados para detecção de ponto final de gravação (etch), metrologia de filmes finos e monitoramento em tempo real das condições do plasma, essas unidades garantem desempenho de processo estável, melhoram o rendimento de produção e reduzem produtos defeituosos em processos de gravação, CVD, PVD e outros procedimentos de fabricação a vácuo. Como componentes originais compatíveis com OEM, apresentam excelente compatibilidade e confiabilidade de longo prazo para ferramentas de processo de toda a série LAM.
Especificações principais:
- Equipados com detectores CCD/PMT de alta sensibilidade, proporcionando excelente resolução espectral e baixo ruído. Cobrem a faixa de comprimento de onda UV-visível para atender às diversas demandas de monitoramento de processos semicondutores.
- Interfaces de fibra padrão SMA suportam transmissão de sinal a longa distância. Sondas compatíveis com vácuo funcionam de forma estável em ambientes de alto vácuo, alta temperatura e plasma.
- Análise espectral em tempo real permite julgamento preciso do ponto final de gravação, espessura de filmes finos e medição de propriedades ópticas, evitando efetivamente supergravação e subgravação.
- Portas de comunicação Ethernet e RS-232 integradas, totalmente compatíveis com protocolos de equipamentos LAM para interação de dados e integração de sistemas sem interrupções.
- Estrutura compacta e robusta com capacidade anti-vibração e anti-interferência. Suporta operação contínua 24/7 e fácil substituição no local.
Aplicações típicas:
- Sistemas de gravação por plasma, equipamentos de deposição de filmes finos CVD, PVD e ALD
- Detecção de ponto final para processos de gravação de wafers
- Medição in-situ de espessura de filmes finos e refletância
- Análise em tempo real do estado do plasma para câmaras de processo a vácuo
- Plataformas de processo LAM Research 2300, 9400, ExAL e outras mainstream
FAQ:
Q1: Qual é a situação do produto e como é a garantia?
A: Itens originais novos. Garantia de 1 ano incluída.
Q2: Quais são as suas condições de pagamento?
A: T/T, Paypal suportados.
Q3: Qual é o prazo de entrega do produto? Há estoque suficiente?
A: Modelos padrão em estoque, enviados em 3–5 dias úteis após o pagamento. Modelos escassos exigem encomenda ao fabricante—entre em contato com o atendimento ao cliente para prazos.
Q4: Envio e rastreamento
A: DHL/FedEx/UPS disponíveis. Número de rastreamento + link fornecidos após o envio. Monitoramento de todo o processo pela nossa equipe.
Q5: Embalagem e segurança
A: Embalagem original da marca com proteção reforçada (espuma, caixas seladas, caixas de madeira para equipamentos de precisão). Resistente à umidade e a impactos.